晶圆测试探针卡盘.png
晶圆测试探针卡盘纵剖图.png
晶圆测试探针卡盘轴测图.png
晶圆测试探针卡盘主视图.png
晶圆测试探针卡盘侧视图.png
晶圆测试探针卡盘俯视图.png
源文件.png
该模型为晶圆测试探针卡盘，包括Z轴模组、pin高低倍相机模组、θ轴模组、X轴模组、Y轴模组、上卡模组等等。chuck包括冷却液管、真空气管、3Pin、针卡上卡模组等组件。Z轴模组、θ轴模组、X轴模组、Y轴模组采用光栅尺定位。Z轴模组包括三个轴，可以调节chuck平坦度。
持之以恒
图纸ID: 315092070400398880
图纸格式：SLDPRT、SLDASM
图纸版本：Solidworks2021
文件大小：43.34MB
所需积分：100机械币
可否编辑： 可进行编辑，包含特征参数
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