大尺寸晶圆搬运机器人（R-θ三轴机器人）3D+CAD
发布时间：2024-09-02
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图纸描述
本模型为大尺寸晶圆搬运机器人（R-θ三轴机器人），这种传输类机器人拥有3个自由度，分别是r：平行于末端执行器的径向运动，θ：相对于整个手臂的旋转运动， z：整个手臂的z向升降运动。整个机械手臂如果想要做到径向运动，那就是使用两套可以做到互相之间制约和特殊定义的传动比的带传动系统运动与末端执行器合成为一个完整的系统来完成的。
