双叉臂晶圆搬运机械手
发布时间：2026-10-16
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图纸描述
晶圆搬运机械手是半导体制造中 “晶圆传输系统（WTS）” 的核心执行部件，需在 Class 1 级（每立方英尺空气中≥0.5μm 颗粒≤1 个）洁净环境下，实现直径 12/18/24 英寸晶圆的高精度（定位误差≤±0.1mm）、无损伤、高稳定性搬运，其结构设计围绕 “洁净、精准、轻柔、可靠” 四大核心需求展开，主要分为机械本体系统、驱动控制系统、感知检测系统、防护洁净系统四大模块。
